納設(shè)智能首臺(tái)原子層沉積設(shè)備順利出貨,開啟納米級(jí)材料設(shè)備新篇章
發(fā)布時(shí)間:
2024-01-19 17:19
2024年1月18日,納設(shè)智能在先進(jìn)材料制造裝備領(lǐng)域邁出了重要一步——自主研發(fā)的首臺(tái)原子層沉積設(shè)備已經(jīng)完成了所有生產(chǎn)和測(cè)試流程,順利出貨!
原子層沉積(Atomic Layer Deposition,簡(jiǎn)稱ALD)是一種薄膜沉積技術(shù),可歸于化學(xué)氣相沉積大類。相對(duì)于一般化學(xué)氣相沉積,其具有獨(dú)特的表面自限制化學(xué)效應(yīng),因而可以逐個(gè)原子層生長(zhǎng)各種化合物或單質(zhì)薄膜材料,實(shí)現(xiàn)更精確的厚度控制。該技術(shù)制備的薄膜具有良好的的厚度均勻性,優(yōu)異的一致性,突出的三維保型性,可用于各類襯底材料的薄膜沉積。
納設(shè)智能利用自身在半導(dǎo)體外延設(shè)備、化學(xué)氣相沉積技術(shù)等方面積累的經(jīng)驗(yàn)及軟硬件基礎(chǔ),推出了規(guī)格更嚴(yán)、性能更優(yōu)的ALD設(shè)備。
納設(shè)智能的ALD設(shè)備可對(duì)玻璃、硅片等襯底材料進(jìn)行超薄氧化物、氮化物等材料的鍍膜,可以制備出均勻性好、保形性優(yōu)、致密性佳的薄膜材料,可應(yīng)用于對(duì)超薄薄膜(1nm~50nm)有需求的各個(gè)領(lǐng)域。
納設(shè)智能成功推出ALD設(shè)備,體現(xiàn)了納設(shè)智能在先進(jìn)制程設(shè)備領(lǐng)域的創(chuàng)新實(shí)力。未來,納設(shè)智能將不斷追求卓越,尋求更優(yōu)化的工藝參數(shù)和更高效的設(shè)備設(shè)計(jì),以提供更精確、更穩(wěn)定的薄膜沉積解決方案,為行業(yè)帶來更多創(chuàng)新和進(jìn)步。
關(guān)于納設(shè)智能
深圳市納設(shè)智能裝備股份有限公司成立于2018年,主要從事第三代半導(dǎo)體碳化硅、新型光伏材料、納米材料等先進(jìn)材料領(lǐng)域所需的薄膜沉積設(shè)備等高端設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司以“成為全球先進(jìn)材料制造設(shè)備引領(lǐng)者”為愿景,始終堅(jiān)持自主創(chuàng)新,專注于工藝指標(biāo)、耗材成本、維護(hù)效率等方面的持續(xù)優(yōu)化改進(jìn)。
公司核心團(tuán)隊(duì)由材料設(shè)備領(lǐng)域資深專家組成,自有第三代半導(dǎo)體碳化硅外延設(shè)備研發(fā)技術(shù)榮登“科創(chuàng)中國(guó)”先導(dǎo)技術(shù)榜單。公司于2020年被評(píng)定為具有高成長(zhǎng)性的“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)”,2023年榮獲深圳市“專精特新”中小企業(yè)認(rèn)定,也認(rèn)證有ISO9001質(zhì)量管理體系及售后服務(wù)體系。
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納設(shè)智能:SiC業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)10倍,持續(xù)優(yōu)化迭代助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展
回首2023,碳化硅和氮化鎵行業(yè)取得了哪些進(jìn)步?出現(xiàn)了哪些變化?2024將迎來哪些新機(jī)遇和新挑戰(zhàn)? ? 為更好地解讀產(chǎn)業(yè)格局,探索未來的前進(jìn)方向,行家說三代半、行家極光獎(jiǎng)聯(lián)合策劃了《行家瞭望——2024,火力全開》專題報(bào)道。 本期嘉賓是納設(shè)智能副總經(jīng)理、首席營(yíng)銷官?李小天。 新產(chǎn)線加速SiC設(shè)備交付 6吋&8吋發(fā)力,業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)10倍 ? 行家說三代半:過去一年,貴公司主要做了哪些關(guān)鍵性工作? 李小天:過去一年,是納設(shè)快速發(fā)展的一年。2023年,我們?cè)诮K南通設(shè)立了全資子公司,南通子公司以生產(chǎn)交付、工藝驗(yàn)證為主,新產(chǎn)品研發(fā)為輔,這將大大增加了我們的生產(chǎn)能力,縮短交貨周期,提高產(chǎn)品品質(zhì),確保滿足不同產(chǎn)品、不同區(qū)域客戶的交付和響應(yīng)支持。 行家說三代半:2023 年貴公司取得了哪些成績(jī)?你們實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)的戰(zhàn)略是什么? 李小天:2023年,納設(shè)智能6英寸的碳化硅外延設(shè)備批量出貨給多家外延客戶,也獲得了批量驗(yàn)收,業(yè)績(jī)相較于2022年增長(zhǎng)了10倍,標(biāo)志著我們的產(chǎn)品已經(jīng)得到市場(chǎng)的認(rèn)可。 同時(shí),我們緊跟碳化硅產(chǎn)業(yè)向更大尺寸發(fā)展的趨勢(shì),研發(fā)并交付了8英寸碳化硅外延設(shè)備,其具備獨(dú)特的反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)、可獨(dú)立控制的多區(qū)進(jìn)氣方式等特點(diǎn),將更好的提高外延片的均勻性,降低外延缺陷及生產(chǎn)中的耗材成本。目前,該設(shè)備已銷售多個(gè)客戶。 作為設(shè)備廠商,我們注重技術(shù)創(chuàng)新和市場(chǎng)需求的緊密結(jié)合,在產(chǎn)品設(shè)計(jì)開發(fā)階段我們會(huì)充分聽取客戶的意見,站在使用者的角度出發(fā),以確保我們的新產(chǎn)品和技術(shù)升級(jí)能夠更好地解決客戶的實(shí)際問題。同時(shí),在服務(wù)客戶的時(shí)候我們也積極的捕捉客戶的需求變化和潛在問題點(diǎn),基于客戶反饋,我們持續(xù)對(duì)設(shè)備功能進(jìn)行優(yōu)化升級(jí),對(duì)服務(wù)流程進(jìn)行改進(jìn),以確保不斷增強(qiáng)客戶的滿意度和忠誠(chéng)度,從而為公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。 8英寸SiC趨勢(shì)增強(qiáng) 以研發(fā)創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)差異化 ? 行家說三代半:您認(rèn)為 2023 年整個(gè)行業(yè)取得了哪些新的進(jìn)步(包括市場(chǎng)、技術(shù)等)? 李小天:隨著電動(dòng)汽車和可再生能源應(yīng)用的增長(zhǎng),對(duì)高效、高性能的半導(dǎo)體材料需求上升,碳化硅在市場(chǎng)上的地位得到了進(jìn)一步的鞏固和擴(kuò)張。晶圓擴(kuò)徑可以從源頭上大幅度降低碳化硅的器件成本,因此碳化硅6英寸向8英寸過渡是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)。8英寸碳化硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展一方面取決于材料端快速的成熟,另一方面就是晶圓產(chǎn)線的完善。 在襯底端,截至2023年,中國(guó)已有16家企業(yè)發(fā)布了8英寸襯底,國(guó)內(nèi)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了8英寸從0到1的突破,并且頭部廠商已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了小批量的供貨。 在外延端,國(guó)際器件大廠已經(jīng)開始批量采用國(guó)產(chǎn)外延片來生產(chǎn)車規(guī)級(jí)的SiC MOSFET,國(guó)產(chǎn)外延片實(shí)現(xiàn)了上車的突破。 在器件端,碳化硅產(chǎn)業(yè)新建的產(chǎn)線基本都是6&8英寸兼容,也證明了國(guó)內(nèi)8英寸碳化硅的發(fā)展趨勢(shì)在不斷加強(qiáng)。 ? 行家說三代半:在降本增效方面,2023 年最值得關(guān)注和重視的新變化是什么? 李小天:在碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中,襯底部分占據(jù)主要價(jià)值份額,當(dāng)前碳化硅晶體的制備效率較低,這直接影響了碳化硅襯底的成本,隨著晶體制備技術(shù)提升,包括PVT、液相法,HTCVD技術(shù)的進(jìn)步,以及晶錠切割新技術(shù)都為碳化硅晶體的商業(yè)化生產(chǎn)提供了新的動(dòng)力。最近,天岳先進(jìn)公司也宣布使用液相法成功制備出低缺陷的8英寸晶體,隨著這些技術(shù)的優(yōu)化和創(chuàng)新,碳化硅晶體制備的效率有望提高,從而降低成本。 行家說三代半:成本是把雙刃劍,行業(yè)規(guī)?;l(fā)展需要接近硅器件的低成本,但也要防止被低價(jià)所反噬,您如何看待行業(yè)的低價(jià)和同質(zhì)化競(jìng)爭(zhēng)?貴公司有哪些好的做法和建議? 李小天:低價(jià)和同質(zhì)化競(jìng)爭(zhēng)在許多成熟產(chǎn)業(yè)中是一種常見現(xiàn)象。碳化硅行業(yè)目前面臨著越來越激烈的競(jìng)爭(zhēng),一方面低成本能夠加速碳化硅市場(chǎng)的擴(kuò)展和碳化硅下游新應(yīng)用的推廣,同時(shí)也會(huì)加速行業(yè)的整合,加速碳化硅產(chǎn)業(yè)的成熟。但惡性低價(jià)和同質(zhì)化競(jìng)爭(zhēng)也會(huì)帶來潛在的負(fù)面影響,會(huì)阻撓企業(yè)的健康發(fā)展,限制其在研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新上的投資能力,從而不利于整個(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)的持續(xù)長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展。 持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新是避免同質(zhì)化和維持價(jià)格穩(wěn)定的關(guān)鍵,納設(shè)智能在應(yīng)對(duì)同質(zhì)化競(jìng)爭(zhēng)上,不斷的圍繞客戶需求大膽創(chuàng)新,如在耗材成本、維護(hù)頻次等方面進(jìn)行設(shè)備的持續(xù)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)與友商產(chǎn)品的差異化。 對(duì)于產(chǎn)業(yè),我們認(rèn)為競(jìng)爭(zhēng)并不可怕,可怕的是無底線的惡性競(jìng)爭(zhēng),產(chǎn)業(yè)的健康持續(xù)發(fā)展需要大家共同努力,我們可以通過制定和遵守碳化硅行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),保證產(chǎn)品和服務(wù)的質(zhì)量,避免陷入因降低成本而犧牲質(zhì)量的惡性競(jìng)爭(zhēng)。同時(shí)我們鼓勵(lì)推動(dòng)碳化硅行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品升級(jí),提升產(chǎn)品附加值,推動(dòng)整個(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。 國(guó)產(chǎn)SiC需提升良率和穩(wěn)定性 多方位優(yōu)化迭代 助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展 ? 行家說三代半:經(jīng)過前些年的鋪墊,SiC / GaN 技術(shù)目前在許多應(yīng)用場(chǎng)景都很活躍,展望 2024 年,您認(rèn)為行業(yè)最大的機(jī)會(huì)在哪里?貴公司將如何開拓這些市場(chǎng)? 李小天:碳化硅上車依舊是整個(gè)行業(yè)的熱點(diǎn)問題,2023年碳化硅車型陣容又進(jìn)一步擴(kuò)大,截至2023,全球已知的碳化硅車型合計(jì)超過142款,而車規(guī)級(jí)的碳化硅器件壁壘比較高,國(guó)內(nèi)目前還在努力突破,這是行業(yè)難點(diǎn)同時(shí)也是機(jī)會(huì)點(diǎn)。 ? 行家說三代半:未來幾年,整個(gè)行業(yè)將面臨的挑戰(zhàn)有哪些?貴公司將如何面對(duì)并解決挑戰(zhàn)? 李小天:隨著近兩年投入的碳化硅襯底、外延項(xiàng)目的批量出貨,國(guó)內(nèi)產(chǎn)品與海外產(chǎn)品對(duì)比來看,在產(chǎn)品性能參數(shù)上,國(guó)內(nèi)碳化硅襯底外延與海外產(chǎn)品基本一致,而不足主要在于良品率和穩(wěn)定性。 在器件端,國(guó)內(nèi)碳化硅二極管已經(jīng)過剩了,但是SiC MOSFET才開始進(jìn)入工業(yè)領(lǐng)域,目前國(guó)產(chǎn)的車規(guī)級(jí)SiC MOSFET還在不斷驗(yàn)證中,暫未批量上車。 作為一家設(shè)備企業(yè),承載著碳化硅晶圓材料制造的核心技術(shù)和工藝,因此提升設(shè)備可靠性和穩(wěn)定性至關(guān)重要,如我司的碳化硅外延設(shè)備,我們從機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、傳感精度、控制算法等多方面著手,圍繞設(shè)備的整機(jī)性能不斷的優(yōu)化迭代,確保設(shè)備穩(wěn)定可靠;另外我們進(jìn)一步優(yōu)化技術(shù)支持和售后服務(wù)體系,快速有效響應(yīng)客戶需求,進(jìn)一步不斷助力產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 行家說三代半:2024 年,貴司定下來了哪些規(guī)劃和目標(biāo)? 李小天:2024年,納設(shè)將完成南通新生產(chǎn)基地的建設(shè)與投產(chǎn),將重點(diǎn)確保新基地所有生產(chǎn)線的順利運(yùn)行,讓產(chǎn)能能夠得到有效提升。同時(shí),我們也加強(qiáng)供應(yīng)鏈管理和內(nèi)部體系建設(shè),不斷完善企業(yè)內(nèi)部管理,確保產(chǎn)品的高質(zhì)交付。 同時(shí),我們也會(huì)通過市場(chǎng)研究和技術(shù)評(píng)估,識(shí)別新的機(jī)會(huì),特別是在第三代半導(dǎo)體、新型光伏材料、納米材料等先進(jìn)材料的高端設(shè)備領(lǐng)域,將繼續(xù)投資于人才和技術(shù),通過與業(yè)界合作伙伴加強(qiáng)相關(guān)合作,加快技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品開發(fā),以適應(yīng)快速變化的市場(chǎng)需求。
納設(shè)智能首臺(tái)原子層沉積設(shè)備順利出貨,開啟納米級(jí)材料設(shè)備新篇章
2024年1月18日,納設(shè)智能在先進(jìn)材料制造裝備領(lǐng)域邁出了重要一步——自主研發(fā)的首臺(tái)原子層沉積設(shè)備已經(jīng)完成了所有生產(chǎn)和測(cè)試流程,順利出貨!